ディープエッチの英語

次に、１５％ＨＦ（フッ酸）でディープエッチング表面処理をおこなった。例文帳に追加

The substrate is subsequently subjected to deep etching surface-treatment with 15% HF (hydrofluoric acid). - 特許庁

シリコン層のディープエッチングの際にノッチが発生されることを防止する。例文帳に追加

To inhibit the generation of a notch in the case of deep etching of a silicon layer. - 特許庁

これにより、前記通電構造が形成されるので、シリコン層１５０および酸化膜層１３０にかけてパターンをディープエッチングする際に、酸化膜層１５０と接するエッチングパターンの下部に電荷が集中しにくく、ノッチの発生を抑えることができる。例文帳に追加

Thereby, since the energizing structure is formed, when a pattern is deep etched at the silicon layer 150 and the oxide layer 130, it is hard to concentrate charge on the lower part of the etching pattern which touches the oxide film layer 150, and the generation of the notch can be suppressed. - 特許庁