ドーナツパターンの英語

コンプリメンタリ分割をすることなく、ステンシルレチクルを用いてドーナツパターンを形成する。例文帳に追加

To form a doughnut pattern using a stencil reticle without performing complementary division. - 特許庁

薄膜状のメンブレン２に開口状の露光パターンとしてドーナツパターン３および複数の長尺パターン５が設けられている露光マスク１であり、ドーナツパターン３および複数の長尺パターン５の開口部の対向辺間に、ドーナツパターン３および各長尺パターン５の最小線幅よりも細い線幅の架橋パターン７を掛け渡してなる。例文帳に追加

In the exposure mask 1 where a doughnut pattern 3 and a plurality of long patterns 5 are provided on a thin film membrane 2 as an opening-like exposure pattern, a crosslinking pattern 7 thinner than the minimum line width of the doughnut pattern 3 and the long patterns 5 is stretched across the opposite sides at the opening part of the doughnut pattern 3 and the long patterns 5. - 特許庁

この露光マスク１を用いたパターン露光においては、ドーナツパターン３および各長尺パターン５のみが解像され、かつ架橋パターン７が解像されない範囲に露光量を調整することによって行われる。例文帳に追加

In the pattern exposure using that exposure mask 1, only the doughnut pattern 3 and the long patterns 5 are resolved while regulating light exposure within a range where the crosslinking pattern 7 is not resolved. - 特許庁