ハサンプルの英語

種々の成膜条件で実際にウェーハサンプル上にエピタキシャル膜を成長させてみて、成長前後のウェーハの全面での厚み形状を測定し、その差から、種々の成膜条件下でのエピタキシャル膜の全域での膜厚形状を把握し記憶する。例文帳に追加

Epitaxial layers are experimentally grown upon actual wafer samples under various different layer formation conditions, thickness profiles are measured over the entire surfaces of these wafers before and after growth of the layers, and from differences thereof, layer thickness profiles over the entire areas of the epitaxial layers under the various different layer formation conditions are ascertained and stored. - 特許庁

積層ゲートをエッチングする場合において、複数枚処理しても安定な性能が得られ、また、連続試験を行う際にＳｉダミーウェーハを用いても実ウェーハサンプルを流す場合と同様な結果が得られるようにする。例文帳に追加

To realize a dry-etching method capable of obtaining wafers having stable performance even if a plurality of the wafers are subjected to processing in a case of etching a laminated gate and ensuring the same result with a case of using actual wafer samples even when dummy wafers are used in a continuous test. - 特許庁