epitaxial layersとは 意味・読み方・使い方

To surely prevent the short circuit of selective epitaxial layers arranged on both sides of an device isolation region, and to improve the electrical characteristics of the selective epitaxial layers.例文帳に追加

素子分離領域の両側に配置される選択エピタキシャル層の短絡を確実に防止し、かつ選択エピタキシャル層の電気特性を向上させる。 - 特許庁

A plurality of columnar first epitaxial layers 11 is formed on a surface of a substrate main body 13 at predetermined intervals, a plurality of second epitaxial layers 12 is respectively formed in trenches 14 between the plurality of first epitaxial layers 11.例文帳に追加

基板本体１３表面に所定の間隔をあけて柱状の複数の第１エピタキシャル層１１がそれぞれ形成され、複数の第１エピタキシャル層１１間のトレンチ１４に複数の第２エピタキシャル層１２がそれぞれ形成される。 - 特許庁

Second epitaxial growth layers are formed on the first epitaxial growth layers at a position separate from opposed ends of the extensions in the direction in which the first epitaxial layers recede from each other, and two source/drain regions 10n and 10n (10p and 10p) are formed of the second epitaxial growth layers on a PMOS side and an NMOS side, respectively.例文帳に追加

エクステンション部の対向端から互いに離反する向きにさらに離れた位置の第１エピタキシャル成長層上に、第２エピタキシャル成長層が形成され、これによりＰＭＯＳとＮＭＯＳの各々の側で２つのソース・ドレイン領域１０ｎと１０ｎ（１０ｐと１０ｐ）が形成されている。 - 特許庁

The semiconductor epitaxial layers have a single crystal structure without crystal defects.例文帳に追加

半導体エピタキシャル層は結晶欠陥を有しない単結晶構造を有する。 - 特許庁

A plurality of p-type diffusion layers 3 are formed on the surface layer of an n^--type epitaxial layer 2.例文帳に追加

ｎ^-型エピ層２の表層部に複数のｐ型拡散層３を形成する。 - 特許庁

The group 52 of second compound semiconductor layers is formed on the group 22 of first compound semiconductor layers through epitaxial growth.例文帳に追加

第２化合物半導体層群５２は、第１化合物半導体層群２２上にエピタキシャル成長により形成される。 - 特許庁

To provide a vertical-type epitaxial-growth apparatus, whereby the films of epitaxial-growth layers can be formed on wafers, while maintaining proper distribution for the thicknesses of the films between the wafers.例文帳に追加

ウエハ間の良好な膜厚分布を維持して、エピタキシャル成長層を成膜できる縦型エピタキシャル成長装置を提供する。 - 特許庁

To provide a set of epitaxial silicon wafers which has wafers having epitaxial layers not substantially having grown-in defects of crystal.例文帳に追加

結晶成長導入欠陥を実質的に有さないエピタキシャル層を有するウエハを有するエピタキシャルシリコンウエハのセットを提供する。 - 特許庁