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プラズマ浸漬イオンの英語
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英訳・英語 plasma immersion ion
「プラズマ浸漬イオン」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 4件
拡散領域は、気相ドーピング、プラズマドーピング、あるいはプラズマ浸漬イオンインプランテーションにより形成される。例文帳に追加
The diffused region 367 is formed through vapor-phase doping, plasma doping, or plasma infiltration ion implantation. - 特許庁
高周波プラズマ浸漬イオン注入リアクタのようなプラズマ処理チャンバにおいて精密な実時間ドーズ計測が必要とされる例文帳に追加
To solve a problem that a precise real time dose measurement is required in a plasma processing chamber such as high frequency plasma immersion ion implantation reactor. - 特許庁
トロイダルソースリアクタのための極めて均一なチャンバシーズニングプロセスにおけるプラズマ浸漬イオン注入例文帳に追加
PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION IN HIGHLY UNIFORM CHAMBER SEASONING PROCESS FOR TOROIDAL SOURCE REACTOR - 特許庁
シーリングと円筒形側壁とシーリングに面するウエハ支持ペデスタルを有するリアクタチャンバの内部に極めて均一なシーズニング膜を有するプラズマ浸漬イオン注入を行う方法を提供する。例文帳に追加
To provide a method for performing plasma immersion ion implantation with a highly uniform seasoning film on the interior of a reactor chamber having a wafer support pedestal facing a ceiling, a cylindrical sidewall, and the ceiling. - 特許庁
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plasma immersion ion
JST科学技術用語日英対訳辞書
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