プロセス用分析計の英語

ピン留め

追加できません

(登録数上限)

単語を追加

和英日本標準商品分類での「プロセス用分析計」の英訳

プロセス用分析計

読み方：ぷろせすようぶんせきけい、プロセスヨウブンセキケイ

Process analyzers

出典元索引用語索引ランキング

「プロセス用分析計」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 1件

例文

半導体製造プロセス用吸光分析装置は、半導体製造プロセスの処理チャンバ３９の排気流路に接続された流路切換え機構５０と、レーザ光源からのレーザ光をセル内で多重反射させてガスによる吸光度変化を検出してプロセスガス中の水分濃度を測定する多重反射型水分濃度計測用吸光分析計５１とを備えている。例文帳に追加

This absorption spectrometric apparatus for the semiconductor manufacturing process includes: a channel switching mechanism 50 connected to an exhaust channel of a processing chamber 39 in the semiconductor manufacturing process; and an absorption spectrometric apparatus 51 for multiple reflection type moisture concentration measurement for detecting an absorbance change caused by gas by multiple reflection in the cell of laser light from a laser light source, and measuring the moisture concentration in process gas. - 特許庁