低圧化学蒸着の英語

低圧化学蒸着装置例文帳に追加

LOW-PRESSURE CVD APPARATUS - 特許庁

低圧−ＤＣ−熱化学蒸着法を利用したカーボンナノチューブ垂直配向蒸着方法例文帳に追加

VAPOR DEPOSITION METHOD FOR PERPENDICULARLY ORIENTING CARBON NANOTUBE UTILIZING LOW-PRESSURE-DC-THERMAL CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS - 特許庁

蒸着膜質及び厚さを均一化し、パーティクルを防止し、膜質を多様化し、部品の破損を防止し、自動化に有利にし、低圧化学蒸着装置及びプラズマ低圧化学蒸着装置を兼用し得る低圧化学蒸着装置を提供することである。例文帳に追加

To provide a low-pressure CVD that can be used both as a low-pressure CVD and low-pressure plasma CVD capable of making the quality and thickness of an evaporated film uniform, preventing particles, diversifying the film quality, preventing the breakage of the components, and being advantageous for automation. - 特許庁

集電体上に、辺縁部を有する金属層を形成し、集電体及び金属層上に、シリコンを含む堆積性ガスを用いて加熱する低圧化学蒸着（ＬＰＣＶＤ：Ｌｏｗ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により、シリコンウィスカを含む結晶性シリコン層を活物質層として形成する蓄電電池用の電極の作製方法である。例文帳に追加

A manufacturing method for an electrode for a storage battery comprises: forming a metal layer including a side edge part on a current collector; and forming, as an active material layer, a crystalline silicon layer including silicon whisker on the current collector and a metal layer by a low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) method for heating by deposition gas including silicon. - 特許庁