後方散乱電子信号の英語

SEMにおける最も重要な信号は、二次電子と後方散乱電子によって作られる。例文帳に追加

The most important signals in SEM are produced by secondary and backscattered electrons.発音を聞く  - 科学技術論文動詞集

半導体ウエハ等の被検査基板９に荷電粒子ビーム１９を照射することによって、発生した二次電子や後方散乱電子を検出器２０に取り込み、取り込んだ電子数に比例した信号を発生させ、その信号をもとに検査画像を形成させる。例文帳に追加

Secondary electrons or back scattering electrons, produced by irradiating a semiconductor wafer 9 as an object of check with a charged particle beam, are introduced into a detector 20 to generate signals proportional to the number of the introduced electrons, and a check image is formed on the basis of these signals. - 特許庁

半導体ウエハ等の被検査基板９に荷電粒子ビーム１９を照射して、発生した二次電子や後方散乱電子を検出器２０に取り込み、取り込んだ電子数に比例した信号を発生させ、その信号をもとに検査画像を形成させる。例文帳に追加

A substrate to be inspected 9 such as a semiconductor wafer etc. is irradiated with charged particle beams 19, generated secondary electrons or back scattered electrons are captured into a detector 20, signals in proportion to the number of taken-in electrons are caused to occur, and an inspection image is formed on the basis of the signals. - 特許庁