微細パターニングの英語

より微細なパターニングにおける非露光部分を安定した形状でパターニングすることを可能とすること。例文帳に追加

To pattern in a stable form of an unexposed part for fine patterning. - 特許庁

有機ＥＬ材料をはじめとした薄膜の特性を劣化させることなく、大型化かつ高精度の微細パターニングを可能とするパターニング方法、および、かかるパターニング方法を使用するデバイスの製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a patterning method capable of enlarging a device and highly precisely forming a fine pattern without deteriorating characteristics of a thin film including an organic EL material, and to provide a device manufacturing method using the patterning method. - 特許庁

有機ＥＬ材料をはじめとした薄膜の特性を劣化させることなく、大型化かつ高精度の微細パターニングを可能とするパターニング方法、および、かかるパターニング方法を使用するデバイスの製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a patterning method, capable of enlargement and detailed fine patterning, without causing degradation of the thin-film characteristics of an organic EL material, or the like, as well as, to provide a manufacturing method of a device which uses the patterning method. - 特許庁

ダブルパターニング工程を用いる半導体素子の微細パターン形成方法例文帳に追加

METHOD OF FORMING FINE PATTERNS OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING DOUBLE PATTERNING - 特許庁

酸拡散を利用するダブルパターニング工程による半導体素子の微細パターン形成方法例文帳に追加

METHOD FOR FORMING FINE PATTERN OF SEMICONDUCTOR DEVICE BY MEANS OF DOUBLE PATTERNING PROCESS UTILIZING ACID DIFFUSION - 特許庁

結晶性基板は微細な凹凸を備えるとともにパターニング不要のエピタキシャル表面を有する。例文帳に追加

The crystalline substrate has fine irregularities and includes an epitaxial surface without need of patterning. - 特許庁

電極上に塗布されたＣＮＴペーストを露光して微細パターニングする。例文帳に追加

The CNT paste coated on the electrode is exposed and a fine patterning is carried out. - 特許庁

パターニングが微細であっても、低コストでＬＷＲを低減できるエッチング方法を実現する。例文帳に追加

To provide an etching method which reduces LWR at a low cost even for a fine pattern. - 特許庁