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晶斗の英語
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該当件数 : 1件
光の漏斗効果をそのカップリン孔の真正面に集積させて、光の結合効果を増強させる光漏斗を湿式蝕刻で結晶学的に半導体のスロープを規定するか、または、乾式蝕刻で、レジスト・プロファイルで規定された、半導体スロープの上を平坦化した誘電体で被覆した。例文帳に追加
The funnel effect of the light is integrated just in front of the coupling hole, then a light funnel that intensifies an optical coupling effect is constituted by overlaying with a dielectric planarized on a semiconductor slope specified crystallographically using wet etching or a semiconductor slope specified by a resist profile using dry etching. - 特許庁
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