高温電子プラズマの英語

低温プラズマガスに放電が作用し電子温度が上昇して高温プラズマとなりＥＵＶ放射が開始される。例文帳に追加

Discharge acts on the low temperature plasma gas and the electron temperature increases to make a high temperature plasma and EUV emission is started. - 特許庁

高周波コイルからの高周波電力によりガラスチューブ内に誘導結合プラズマが生成すると共に、その高周波電力により誘導加熱されて高温になったワイヤ８からの熱電子がプラズマに補給される。例文帳に追加

Inductive coupling plasma is generated within the glass tube by high-frequency power from the high-frequency coil, and thermions from the wire 8 heated to a high temperature by induction heating by the high-frequency power are supplied to the plasma. - 特許庁

高電圧印加回路５０から、両電極１，２に高電圧パルス電圧を印加すると、両電極１，２間に放電が発生し、貫通孔２ａには電子線により電離したキセノンによる高密度高温プラズマが発生し、このプラズマから波長１３．５ｎｍのＥＵＶ光が放射される。例文帳に追加

By applying a high voltage pulse voltage to both the electrodes 1, 2 from a high voltage applying circuit 50, a discharge is generated between both the electrodes 1, 2 and in the penetrating aperture 2a, a high-density high-temperature plasma is generated by xenon ionized by the electron beam. - 特許庁

プロセス室内に加速電極を設置した電子ビーム励起プラズマ発生装置において、高温絶縁性物質の処理を行うときに加速電極に絶縁性物質が付着することを防ぎ電子ビームの加速を長時間安定化する加速電極構造を提供する。例文帳に追加

To provide acceleration electrode structure, which prevents adhering of an insulating substance to an acceleration electrode when processing a high temperature insulation substance, and stabilizes acceleration of an electron beam for a long time, in electron beam excitation plasma generating equipment, which has the acceleration electrode installed in a process room. - 特許庁