Anti-reflective coatingとは 意味・読み方・使い方

The method of manufacturing a semiconductor device includes a step of forming an organic bottom anti-reflective coating over an etch target layer, a step of forming a photoresist pattern over the organic bottom anti-reflective coating, and a step of etching the organic bottom anti-reflective coating using a sulfur-containing gas.例文帳に追加

被エッチング層上に有機反射防止膜を形成するステップと、該有機反射防止膜上に感光膜パターンを形成するステップと、硫黄が含有されたガスを用いて、前記有機反射防止膜をエッチングするステップとを含むことを特徴とする。 - 特許庁

To provide a method for forming an integrated circuit using a silicon nitride anti-reflective coating(ARC).例文帳に追加

窒化ケイ素抗反射コーティング（ＡＲＣ）を用いた集積回路を形成する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for pattern-etching an anti-reflective coating (ARC) layer of a substrate.例文帳に追加

基板の反射防止（ＡＲＣ）層をパターンエッチングする方法を提供する。 - 特許庁

TOP ANTI-REFLECTIVE COATING COMPOSITION AND METHOD FOR PATTERN FORMATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING SAME例文帳に追加

上部反射防止膜の組成物、およびこれを用いた半導体素子のパターン形成方法 - 特許庁

ORGANIC ANTI-REFLECTIVE COATING COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING PHOTORESIST PATTERN USING THE SAME例文帳に追加

有機反射防止膜組成物及びこれを利用したフォトレジストのパターン形成方法 - 特許庁

COATING COMPOSITION, OPTICAL FILM, ANTI-REFLECTIVE FILM, POLARIZING PLATE AND DISPLAY DEVICE USING THEM例文帳に追加

塗布組成物、光学フィルム、反射防止フィルム、偏光板及びそれらを用いたディスプレイ装置 - 特許庁

TWO STEP ETCHING OF BOTTOM ANTI-REFLECTIVE COATING LAYER IN DUAL DAMASCENE APPLICATION例文帳に追加

デュアルダマシン用途における下面反射防止コーティング層の２ステップエッチング - 特許庁

The silver electrode 7 for the optical receiver surface passes through the anti-reflective coating 4 and connected with the diffusion layer 3.例文帳に追加

受光面銀電極７は、反射防止膜４を貫通し拡散層３に接続している。 - 特許庁