FSMaとは 意味・読み方・使い方

An FSMA (preferably, an FePd material) like a thin belt is used in a micromachine 10 main body.例文帳に追加

マイクロマシン１０本体に薄帯状のＦＳＭＡ（好適にはＦｅＰｄ材)を用いる。 - 特許庁

The image of a reference wafer SW for calibration, on which first reference marks (FSMa, FSMb and FSMc) including first marks (FTMa, FTMb and FTMc) having plural configuration feature points and second marks (STMa, STMb and STMc) for specifying the positions of the configurational feature points in the first marks (FTMa to FTMc) are formed is photographed with an imaging device which calibrates the position detector.例文帳に追加

複数の形状特徴点を有する第１マーク（ＦＴＭａ，ＦＴＭｂ，ＦＴＭｃ）と、形状特徴点それぞれの前記第１マーク内における位置を特定するための第２マーク（ＳＴＭａ,ＳＴＭｂ,ＳＴＭｃ）とを含む第１基準マーク（ＦＳＭａ，ＦＳＭｂ，ＦＳＭｃ）が形成された較正用基準ウエハＳＷを、位置検出装置を較正する撮像装置によって撮像する。 - 特許庁