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Liquid Source Delivery Systemとは 意味・読み方・使い方
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The chemical delivery system (500) is disclosed based on the purge technology using various kinds of combinations of a medium-level vacuum source, a hard vacuum source, and/or a liquid flush system (506).例文帳に追加
中レベル真空源、ハード真空源および／または液体フラッシュ・システム（５０６）の種々の組合せを用いるパージ技術を用いた化学物質デリバリー・システム（５００）。 - 特許庁
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