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Mスキャンの英語
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「Mスキャン」を含む例文一覧
該当件数 : 1件
In the scan exposure device 1, the substrate drive unit 17 of a substrate conveyance mechanism 10 is constituted movably so that a plurality of masks M and a substrates W may relatively move by a distance A in the Y direction, that is by approximately half of the inter-center distance D in the Y direction of mask patterns 51, 52 of the adjoining masks M.例文帳に追加
スキャン露光装置1では、基板搬送機構10の基板駆動ユニット17は、複数のマスクMと基板WとがY方向に所定の距離A、即ち、隣接するマスクMのマスクパターン51,52のY方向における中心間距離Dの略1/2だけ相対移動するように移動可能に構成されている。 - 特許庁
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