MICRO LITHOGRAPHYとは 意味・読み方・使い方

PROJECTION EXPOSURE METHOD AND PROJECTION EXPOSURE DEVICE FOR MICRO LITHOGRAPHY例文帳に追加

マイクロリソグラフィのための投影露光方法及び投影露光装置 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER OF MICRO LITHOGRAPHY FOR λ<200 nm例文帳に追加

λ＜２００ｎｍ用のマイクロリソグラフィの投影露光装置 - 特許庁

STAMP FOR SOFT LITHOGRAPHY COMPRISING MICRO CONTACT PRINT AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME例文帳に追加

マイクロコンタクトプリントを含むソフトリソグラフィ用のスタンプ及びその製造方法 - 特許庁

To provide a lithography apparatus capable of preventing micro-slip of a mask and reducing an overlay error.例文帳に追加

マスクのマイクロスリップを防ぎ、オーバレイ誤差を低減できるリソグラフィ装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for optimizing an illumination source and a mask feature of a micro lithography.例文帳に追加

マイクロリソグラフィの照明源およびマスクフィーチャを最適化する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a substrate especially suitable for EUV (extreme ultra-violet) micro-lithography.例文帳に追加

ＥＵＶマイクロリソグラフィーに特に適した基板を製造する方法を提供する。 - 特許庁

To form a micro pattern that is below a resolution limit of lithography and is superior in dimensional controllability.例文帳に追加

リソグラフィの解像限界以下の寸法制御性の高い微細パターンを形成する。 - 特許庁

MICRO LITHOGRAPHY SYSTEM, LIGHTING SYSTEM FOR THE SAME, AND EXPOSURE METHOD FOR SUBSTRATE例文帳に追加

マイクロリソグラフィー系、マイクロリソグラフィー用の照明系及び基板を露光する方法 - 特許庁