Mass Analyzing Monitorとは 意味・読み方・使い方

To provide a monitor system capable of collecting information showing the operating state and extracting, displaying and analyzing the information collected for storage, or the like at its own timing, for even many mass flow controllers.例文帳に追加

多数のマスフローコントローラに対しても、動作状態を示す情報の収集と、収集保存した情報を抽出し、表示、分析などを独自のタイミングで行うことができるモニターシステムを提供する。 - 特許庁

To provide a method for analyzing an organometal compound capable of detecting the molecule itself of the organometal compound without generating dissociation in the mass analysis of the organometal compound and capable of effectively utilizing the same as a monitor of the organometal compound in an MO film forming apparatus, and an analyzer therefor.例文帳に追加

有機金属化合物の質量分析で解離を生じることなく、有機金属化合物の分子そのものを検出でき、ＭＯ成膜装置における有機金属化合物のモニタとして有効に利用できる有機金属化合物の分析方法および分析装置を提供する。 - 特許庁