Pre-Sputterとは 意味・読み方・使い方

This apparatus comprises a pre-treated substrate 1 which has been vapor deposited with Ni and partially etched, a tungsten filament 2, and RF magnetron sputter equipment, 3, 4, and 5, for sputter depositing carbon.例文帳に追加

Ｎｉを蒸着し、部分エッチングを行った前処理基板１と、タングステンフィラメント２と、カーボンをスパッタ蒸着するＲＦマグネトロンスパッタ装置３，４，５とを具備する。 - 特許庁

The coating machine features means of aligning the sputter direction S in a direction pointing away from direction S for pre-sputtering the target, and for aligning the sputter direction S in a direction pointing towards the substrate for coating the substrate by sputtering material from the targets.例文帳に追加

コーティング機は、ターゲットをプレスパッタするためにスパッタ方向Ｓから離れるように向く方向にスパッタ方向Ｓを合わせるとともに、ターゲットから材料をスパッタすることによって基板をコーティングするために基板に向く方向にスパッタ方向Ｓを合わせるための手段を特徴としている。 - 特許庁

Deposition-preventive shields 261-264 for preventing deposition of a material emitted from a substrate 9 are disposed in an exchangeable manner in the pre-etching chamber 2 which is connected to a sputter chamber 4 for performing the deposition by the sputtering so as to ensure the continuous vacuum and performs the pre-etching of the surface of the substrate 9 therein.例文帳に追加

スパッタリングによる成膜処理が行われるスパッタチャンバー４に真空が連続するよう接続され、スパッタリングに先立ち基板９の表面をエッチングする前処理が内部で行われる前処理エッチングチャンバー２内には、基板９から放出された材料の付着を防止する防着シールド２６１〜２６４が交換可能に設けられている。 - 特許庁