Reactive Nitrogen Speciesとは 意味・読み方・使い方

Thereby, a plasma is produced, the N2O gas is excited or dissociated, and a reactive gas X including the nitrogen active species and oxygen active species is produced.例文帳に追加

これにより、プラズマが形成されてＮ_2Ｏガスが励起叉は解離され、窒素活性種及び酸素活性種を含む反応ガスＸが生成される。 - 特許庁

The amino group may be introduced by contacting nitrogen containing reactive species such as ammonia with, for example, the surface of the semiconductor terminated with hydrogen atom and by chemically absorbing the amino group containing the nitrogen atom derived from this reactive species onto the surface of the semiconductor.例文帳に追加

アミノ基は、例えば水素原子で終端された半導体表面にアンモニア等の窒素含有反応種を接触させ、この反応種に由来する窒素原子を含むアミノ基を半導体表面に化学吸着させて導入すればよい。 - 特許庁

When an insulating barrier layer 12 is formed on the surface of the lower-layer interconnect line 11, an SiCN film is formed, using organic silane 4 and the nitrogen active species as the reactive gas for film deposition.例文帳に追加

また、下層配線１１表面に形成する絶縁性バリア層１２の成膜は、有機シラン４と窒素活性種を成膜の反応ガスとしてＳｉＣＮ膜を形成する。 - 特許庁