THERMAL OXIDATIONとは 意味・読み方・使い方

METHOD AND DEVICE FOR THERMAL OXIDATION例文帳に追加

熱酸化方法およびその装置 - 特許庁

A thermal oxidation film thickness standard after the thermal oxidation is set on the basis of the natural oxidation film thickness.例文帳に追加

次に、自然酸化膜厚に基づいて熱酸化後の熱酸化膜厚規格を設定する。 - 特許庁

METHOD FOR FORMING THERMAL OXIDE FILM AND THERMAL OXIDATION DEVICE例文帳に追加

熱酸化膜の形成方法及び熱酸化装置 - 特許庁

To suppress oxidation generating on an interior wall of a device isolation trench during thermal oxidation process.例文帳に追加

熱酸化工程で発生する素子分離溝の内壁の酸化を抑制する。 - 特許庁

Then, the measured thermal oxidation film thickness is compared with the thermal oxidation thin film thickness standard (e), (f).例文帳に追加

次に、測定された熱酸化膜厚と熱酸化膜厚規格とを比較する（ｅ）、（ｆ）。 - 特許庁

The thermal oxidation film 9 is smaller in thickness than the thermal oxidation film 6 formed in the STI groove 60.例文帳に追加

この熱酸化膜９の膜厚はＳＴＩ溝６０内の熱酸化膜６よりも薄く形成されている。 - 特許庁

Thereafter, a thermal oxide film is formed within the cavity with thermal oxidation of the Si substrate 1 (BOX oxidation method).例文帳に追加

その後、Ｓｉ基板１を熱酸化して空洞部内に熱酸化膜を形成する（ＢＯＸ酸化工程）。 - 特許庁