Total measuring systemsとは 意味・読み方・使い方

To provide an exposure apparatus capable of normally measuring permeability changes of all optical systems including a projecting optical system and controlling total exposure more precisely in an exposure process, and an exposure method, a device manufacturing method and its device.例文帳に追加

露光工程中においても、投影光学系を含めた全光学系の透過率変化を常時測定し、積算露光量をより正確に制御することができる露光装置、露光方法、デバイス製造方法及びデバイスを提供する。 - 特許庁

This apparatus includes three systems ((1) for treated animals; (2) for animals yet to be treated; and (3) for measuring the total amount of carbon dioxide contained in air supplied to the breeding cage) each having a sealable breeding cage 3; a gas supply means 23 or the like for supplying air into the cage 3 at a constant rate; and a collection cylinder 49 or the like.例文帳に追加

、密閉可能な飼育槽３と、飼育槽３に空気を一定の送気量で供給するガス供給手段２３等と、捕集筒４９等とを有する系列を３つ（処理済の動物用（１）、未処理の動物用（２）及び、飼育槽に供給する空気中に含まれる総二酸化炭素量の測定用（３））備えている。 - 特許庁