WDXとは 意味・読み方・使い方

To provide an electron microscope usable not only as one which has a WDX with a big constraint of its installation position but as one which can mount a large-sized testpiece and has a large shifting and observation range of a testpiece size.例文帳に追加

取付位置の制約の大きいＷＤＸを備える電子顕微鏡としても、搭載できる試料のサイズや試料の移動範囲および観察範囲の大きい電子顕微鏡としても利用できる電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide an imaging device (a device according to an aberration correction device) for a charge particle beam device as an electron microscope or the like used for the inspection and measurement of a semiconductor, in which a small deviation beam with a high probe current is formed to improve the resolution and throughput in EDX analysis, WDX analysis, or defect inspection.例文帳に追加

半導体の検査および計測に使用される電子顕微鏡等の荷電粒子ビーム装置用の「撮像装置」（収差補正装置に準ずる装置）であって、ＥＤＸ分析、ＷＤＸ分析、欠陥検査等の分解能およびスループットを向上させるために高プローブ電流で分散の小さいビームを形成できるようにする。 - 特許庁