Xe atomとは 意味・読み方・使い方

Xenon (Xe) gas is mixed with an atomic substance (for example, Kr, Ar, Ne, N_2 or NH_3) that emits free electrons of the number which is not less than the half of that of the electrons liberated from one Xe atom from a molecule or an atom in a temperature range where decavalent ions (Xe^10+) of Xe appear and exists as molecules or atoms at room temperature.例文帳に追加

キセノン（Ｘｅ）ガスと、Ｘｅの１０価イオン（Ｘｅ^１０＋ ） が出現する温度域で、１個のＸｅ原子から遊離される電子の数の少なくとも半分以上の数の自由電子を１個の分子或いは１個の原子から放出する、室温で分子または原子状の物質（例えばＫｒ， Ａｒ， Ｎｅ， Ｎ_２ ，ＮＨ_３ ）を混合する。 - 特許庁

The mask blank is obtained by forming, on a substrate 11 made of synthetic quartz, a light-shielding layer 12 comprising TaN (with 84.0 atom% of Ta and 16.0 atom% of N in terms of a film composition ratio) to a film thickness of 43 nm by DC magnetron sputtering in a mixture gas atmosphere of xenon (Xe) and nitrogen (N) using Ta as a sputtering target.例文帳に追加

合成石英からなる基板１１上に、スパッタリングターゲットにＴａを用い、キセノン（Ｘｅ）と窒素（Ｎ）の混合ガス雰囲気で、ＤＣマグネトロンスパッタにより、ＴａＮ（膜組成比 Ｔａ：８４．０原子％，Ｎ：１６．０原子％）からなる遮光層１２を４３ｎｍの膜厚で成膜する。 - 特許庁