argon plasma atomとは 意味・読み方・使い方

By guiding in the sublimated fullerene in the plasma stream, an argon-atom-containing fullerene is generated.例文帳に追加

このプラズマ流中に昇華したフラーレンを導入することにより、アルゴン原子内包フラーレンを生成する。 - 特許庁

Atom recombination reactions are accelerated by the action of argon ions generated by argon plasma and silicon fluoride (SiF4) and a carbon oxide (CO or CO2) are generated and discharged.例文帳に追加

アルゴンプラズマで生成したアルゴンイオンの作用により、原子の組み替え反応が進行し、フッ化シリコン（ＳｉＦ_4 ）および酸化炭素（ＣＯまたはＣＯ_2 ）が生成し、排気される。 - 特許庁

At least one kind of gas among unreactive gas like argon, oxygen atom supply gas like oxygen and oxidizing gas like nitrogen oxide is activated in a remote plasma generator 12, and then the activated gas is supplied to the chamber 1 as the gas including active species, together with the halogen gas like boron trichloride.例文帳に追加

アルゴンなどの非反応性ガス、酸素などの酸素原子供給性ガスおよび窒素酸化物などの酸化性ガスの少なくとも１種をリモートプラズマ発生装置１２において活性化して、活性種を含むガスとし、このガスを三塩化ホウ素などのハロゲン系ガスとともチャンバ１に導入する。 - 特許庁