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A temperature at depositing time is the temperature of the degree that the liquid raw material containing at least the silicon atom does not autolyze and the temperature of the degree that the additive autolyzes to generate the moisture.例文帳に追加
成膜時の温度は、少なくともシリコン原子を含む液体原料が自己分解しない程度の温度であって、添加剤が自己分解して水分を発生する程度の温度とする。 - 特許庁
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autolyze
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