beam alignment coilとは 意味・読み方・使い方

BEAM AXIS ADJUSTING METHOD BY ALIGNMENT COIL AND CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING METHOD例文帳に追加

アライメントコイルによるビーム軸調整方法及び荷電粒子ビーム描画方法 - 特許庁

(2) First, the alignment coil is used to adjust the electron beam so that it will be incident on the center of the lens.例文帳に追加

まず、アライメントコイルを用いて、電子ビームがレンズ中心に入射するように調整する。 - 特許庁

An image can be observed under the condition where the electron beam is most stopped by supplying the correction current to the alignment coil 21.例文帳に追加

そして、この補正電流をアライメントコイル２１へ供給することにより、電子ビームが最も絞れる状態で像の観察を行うことができることになる。 - 特許庁

An electron beam is adjusted with an alignment coil stepwise by carrying out a simple deflection function, a tilting function and a pivot function one by one or in the combination of them at the same time.例文帳に追加

アライメントコイルによる電子ビームの調整を、単純偏向機能、チルト機能及びピボット機能を逐次に又は組み合わせて段階的に行う。 - 特許庁

The electron beams B1, B2 emitted from the electron guns 3A, 3B are bent by a beam bending mechanism 8 so that their irradiation direction toward a substrate 2 coincide with each other, further, made to pass through an alignment coil 9 and an objective lens 10, scanned by a scanning coil 11, and irradiated on the same position of the substrate 2.例文帳に追加

電子銃３Ａ，３Ｂから放出された電子ビームＢ_１，Ｂ_２は、ビーム曲げ機構８によって基板２に対する照射方向が一致するように曲げられ、更にアライメントコイル９及び対物レンズ１０を通り、走査コイル１１により走査されて基板２の同じ位置に照射される。 - 特許庁