beam extraction systemとは 意味・読み方・使い方

SYSTEM APPLIED WITH EXTRACTION AND IRRADIATION OF CATIONIC BEAM BY DIRECT CURRENT GLOW DISCHARGE例文帳に追加

直流グロー放電法による陽イオンビームの抽出と照射の応用装置 - 特許庁

An ion beam generating part 2 of the ion implantion system has a source chamber 3, and an ion source 6 and an extraction electrode 8 are arranged in the source chamber 3.例文帳に追加

イオン注入装置のイオンビーム発生部２はソースチャンバ３を有し、このソースチャンバ３内にはイオン源６及び引出電極８が配置されている。 - 特許庁

The size of the extracted light, extracted by the light extraction means and heading for the interferometer optical system in the moving direction, is pratically set smaller than the size of the light beam which is incident on the light extraction means, in the moving direction.例文帳に追加

光抽出手段で抽出されて干渉計光学系へ向かう抽出光の移動方向に沿った寸法は、光抽出手段に入射する光束の移動方向に沿った寸法よりも実質的に小さく設定されている。 - 特許庁

To provide a particle irradiation system that appropriately performs a beam extraction process (interruption and restart) when a failure occurs during irradiation of a group of spots and that safely and efficiently performs irradiation with high accuracy.例文帳に追加

スポットの集合の照射中における異常発生時のビーム出射処理（中断、再開）を適切に行うことにより、照射精度を上げて、安全かつ効率的に照射する。 - 特許庁