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Since the protection film 15 formed from the flexible organic material absorbs kinetic energy of particles at the time of particle collision, the insulation film 5 is prevented thereby from being broked to enhance reliability of a measuring element 1.例文帳に追加
これにより、軟質な有機材料からなる保護膜１５が、粒子衝突時の粒子の運動エネルギを吸収するため、電気絶縁膜５の破壊を防ぎ、測定素子１の信頼性を向上することができる。 - 特許庁
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