Upon starting the transfer of a wafer 10, a gate 23 is descended and atmosphere is perfectly intercepted from vacuum through a chamber bulkhead 21.例文帳に追加

ウェハ１０の搬送開始時には、ゲート２３は下がっており、大気と真空はチャンバ隔壁２１で完全に遮断されている。 - 特許庁

Upon finishing transfer, the gate 23 is descended again and atmosphere is perfectly intercepted from the vacuum through the chamber bulkhead 21.例文帳に追加

搬送終了時には、ゲート２３が再び下がって、大気と真空はチャンバ隔壁２１で完全に遮断される。 - 特許庁

When the gate 23 is elevated, the slit opening 21A of the chamber bulkhead 21 is opened, however, upon passing the wafer 10, a distance between the surface of the wafer 10 and the terminal of the slit opening 21A becomes a substantial opening.例文帳に追加

ゲート２３が上がると、チャンバ隔壁２１のスリット開口２１Ａが開くが、ウェハ１０の通過時には、ウェハ１０表面とスリット開口２１Ａ端部間の距離が実質的な開口部となる。 - 特許庁

To provide a shield machine having a gate device reducing a space on the rear side of a bulkhead, catching no gravel, excellent in sealing performance and adoptable as a small bore shield machine.例文帳に追加

隔壁の後方側における省スペース化を実現し、礫等を挟み込むことなく、シール性にも優れ、また小口径シールド掘進機にも採用可能なゲート装置を備えるシールド掘進機を提供する。 - 特許庁