burnishersとは 意味・読み方・使い方

Multiple rotatable chuck tables 14 each holding a wafer W are arranged on the upper face of a base, burnishers 15a, 15b each rotatably holding an abrasive pad 16 having the diameter smaller than that of the wafer W are provided above them, and both burnishers 15a, 15b are horizontally slid by moving mechanisms from above the chuck tables 14 to above abrasive pad replacing mechanisms 17.例文帳に追加

基台３の上面にウエハＷを保持する回転自在なチャックテーブル１４を複数配し、その上方に、ウエハＷよりも小径に設けた研磨パッド１６を回転自在に保持する研磨盤１５ａ，１５ｂを設け、両研磨盤をチャックテーブル１４の上方から研磨パッド交換機構１７の上方まで移動機構により水平にスライド自在に構成する。 - 特許庁

The apparatus includes one or more service assemblies, and one or more cleaning assemblies; wherein (a) the service assembly includes one or more means for applying dirt to the surface, one or more means for scuffing the surface, or one or more means for dragging a test material across the surface, or a combination thereof; and (b) the cleaning assembly includes one or more scrubbers, or one or more burnishers, or a combination thereof.例文帳に追加

本発明の機器は、１以上のサービスアセンブリと、１以上のクリーニングアセンブリと：を含み（ａ）上記サービスアセンブリは、汚れを表面に適用するための１以上の手段か、表面をスカッフィングするための１以上の手段か、試験物質を上記表面にわたって引きずるための１以上の手段か、またはこれらの組み合わせを含み、および（ｂ）上記クリーニングアセンブリは、１以上のスクラバーか、１以上の磨き仕上げ器か、またはこれらの組み合わせを含む。 - 特許庁