carbide clusterとは 意味・読み方・使い方

To provide a method of manufacturing an SiC semiconductor element, having a satisfactory characteristic by removing a carbon cluster which is generated in a MOS interface in the thermal oxidation operation of a carbide semiconductor substrate and which lowers the mobility of, e.g. a silicon carbide MOSFET.例文帳に追加

炭化けい素半導体基板の熱酸化時にＭＯＳ界面に生じ、例えば炭化けい素ＭＯＳＦＥＴの移動度を低下させるカーボンクラスタを除去し、良好な特性のＳｉＣ半導体素子を作製する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a silicon carbide semiconductor element capable of efficiently removing or inactivating a carbon cluster remaining on an SiO_2/SiC boundary even when forming an insulating film having a certain amount of thickness.例文帳に追加

ある程度の膜厚をもつ絶縁膜を成膜する場合であっても、ＳｉＯ_2／ＳｉＣ界面に残留するカーボンクラスターを効率的に除去または不活性化できる炭化珪素半導体素子の製造方法を提供する。 - 特許庁

The upper surface 7 of the blade 2 consisting of a segment 6 formed of cemented carbide is covered by a covering layer 8, and the covering layer 8 is fixed at a metallic plating phase 9 in a state that diamond cluster 10 is dispersed.例文帳に追加

超硬合金製のセグメント６で構成されたブレード２の上面７に被覆層８を被覆しており、被覆層８では金属めっき相９にダイヤモンドクラスター１０を分散した状態で固着した。 - 特許庁