charge shift probeとは 意味・読み方・使い方

To provide a wafer inspection system which prevents an electrostatic breakage of a wafer and can correctly carry out an inspection of electrical characteristic of the wafer when inspecting the wafer with a probe and its inspection method, and to provide an inspection system which can inhibit a breakage of transistor and occurrence of Vt shift due to a charge in electrical measurement and its inspection method.例文帳に追加

プローバーによるウェハーの検査時に、ウェハーの静電破壊を防ぐとともに、ウェハーの電気的特性の検査を正しく行うことのできるウェハーの検査システムおよび検査方法を提供し、電気計測時のチャージによるトランジスタの破壊やＶｔシフトの発生を抑制可能な検査システム及び検査方法を提供する。 - 特許庁