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charge-density wavesとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 1件
In the method of testing the semiconductor device to determine an interface state density of a MIS transistor formed on a semiconductor substrate 1 by using the charge pumping method, first, a value of a first current made to flow to the semiconductor substrate by applying a first measurement signal composed of continuous pulse waves to a gate of the MIS transistor is measured.例文帳に追加
チャージポンピング法を用いて、半導体基板上に形成されたMIS型トランジスタの界面準位密度を求める半導体装置の評価方法において、まず、パルス波が連続してなる第1の測定信号をMIS型トランジスタのゲートに印加して前記半導体基板に流れる第1の電流値を測定する。 - 特許庁
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