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clean room developmentとは 意味・読み方・使い方
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To provide an exposure apparatus and a method for manufacturing a color filter, with which the dispersion in the line width of color pixels formed after exposure and development processes can be further reduced, without changing the environmental state, such as temperature and humidity in a clean room.例文帳に追加
クリーンルーム内の温度や湿度の環境状態を変えることなく、露光、現像処理後に形成される着色画素の線幅のバラツキを更に小さくする露光装置、カラーフィルタ製造方法をて提供する。 - 特許庁
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