cleans houseとは 意味・読み方・使い方

In a cleaning system which cleans wafers W of a substrate treating system, a wafer counter 31, which detects the number of wafer W housed in a carrier C which can house 25 wafers W is provided to a carrier carrying-in/out section 5 in and from which the carrier C, is carried.例文帳に追加

ウェハＷを洗浄処理する洗浄システムにおいて，２５枚のウェハＷを収納できるキャリアＣを搬入出させるキャリア搬入出部５に，キャリアＣ内に収納されたウェハＷの枚数を検出するウェハカウンタ３１を設けた。 - 特許庁

An ultraviolet radiation processing apparatus 20 cleans the surface of an object to be treated W by irradiating the object to be treated W that is transported with ultraviolet rays from a lamp house 30 equipped with an ultraviolet lamp 32 and includes a gas supply duct 37 for supplying a gas mixture obtained by mixing an inert gas and electron-affinitive molecules to the surrounding of the object to be treated W.例文帳に追加

搬送される被処理物Ｗに紫外線ランプ３２を備えたランプハウス３０からの紫外光を照射することで被処理物Ｗの表面の洗浄を行う紫外光照射処理装置２０であって、被処理物Ｗの周囲に不活性ガス及び電子親和性分子を混合した混合ガスを供給するガス供給ダクト３７を備えることを特徴とする。 - 特許庁