deca-boraneとは 意味・読み方・使い方

To provide an ion source and a method capable of using for a new source material (especially, a thermosensitive material such as new deca-borane and hydride, and a dimer containing compound) which is worthy of production, and to attain a new range of performance in a commercial ion injection of a semiconductor wafer.例文帳に追加

新規なソース材料（特に、イオン注入プロセスにおいて新規なデカボランならびに水素化物およびダイマー含有化合物などの感熱性材料）を使用可能な、生産に値するイオンソースおよび方法を提供し、半導体ウェハの商業的なイオン注入において新規な範囲の性能を達成すること。 - 特許庁