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Preferably, the measured position dependence in the auxiliary beam may be deconvoluted using boundary conditions inherent to the illuminator to compensate for offset between the pupil plane and a detection element.例文帳に追加
好ましくは、副ビームの測定された位置依存性は、瞳孔面と検出要素の間のずれを補償するように照明装置に固有な境界条件を使用してデコンボリューションされる。 - 特許庁
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deconvolute
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