dry-pumping systemとは 意味・読み方・使い方

To provide a new vacuum pumping system structure avoiding destruction of a dry primary pump when pumping low thermal conductivity gas.例文帳に追加

低熱伝導率ガスをポンピングする時に、ドライ一次ポンプの破壊を回避する新しい真空ポンピングシステム構造を提供する。 - 特許庁

In the vacuum pumping system, the Roots or claw multistage dry primary pump exhausts gas into an outlet stage including an additional piston or a membrane pump 6 connected in parallel with an auxiliary exhaust pipe 7 including a check valve 11.例文帳に追加

本発明による真空ポンピングシステムにおいて、ルーツまたはクロー多段ドライ一次ポンプは、逆止め弁１１を含む予備排気パイプ７と並列に接続された増設ピストンまたはメンブレンポンプ６を含む排気口段に排出する。 - 特許庁