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dual inhibitionとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 二重阻害
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More specifically, the dual damascene process depends on a PVD-Ti/CVD-TiN barrier layer and forms an aluminum line showing great reduction in a saturation resistance level, the inhibition of the electro migration, or both of them especially in a line longer than 100 micrometers.例文帳に追加
具体的には、本デュアル・ダマシン・プロセスはＰＶＤ−Ｔｉ／ＣＶＤ−ＴｉＮ障壁層に依存して、特に１００マイクロメートルより長い線において飽和抵抗レベルの大幅な低下またはエレクトロマイグレーションの抑止あるいはその両方を示すアルミニウム線を形成する。 - 特許庁
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