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意味・対訳 電子線描画
「eb writing」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 3件
The method also includes a step of forming a pattern by using an EB direct writing machine on this EB resist 107 while aligning by using a mark 108(F).例文帳に追加
そして、マーク１０８を用いて位置合わせを行いながら、このＥＢレジスト１０７にＥＢ直接描画機を用いてパターンを形成する（Ｆ）。 - 特許庁
To provide a processing method which uses graphic data for EB writing formed by coarse address grids from CAD source data expressed by fine address grids and obtains graphic data for EB writing removed of rounding.例文帳に追加
細かいアドレスグリッドで表現されたＣＡＤソースデータから粗いアドレスグリッドで生成されたＥＢ描画用の図形データを用い、これより、丸め込みを除去したＥＢ描画用の図形データを得る処理方法を提供する。 - 特許庁
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