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efficiency test standとは 意味・読み方・使い方
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To provide a plasma processing apparatus where a test piece can be heated to a high temperature without breaking a test piece stand, and heating efficiency is excellent by eliminating contamination to the test piece due to the abnormal electric discharge of the test piece.例文帳に追加
試料台の異常放電による試料への汚染がなく、試料台を破損せずに、試料を高温まで加熱することができ、しかも加熱効率の優れたプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁
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