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electron-microscopicallyとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 電子顕微鏡的に、電顕的に
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Variations in distribution of the element for observation caused by current stress are microscopically observed using electron beam or X-ray, thereby the diffusion route of the wiring metal being estimated.例文帳に追加
配線を構成する原子とは異なる観察用元素をあらかじめ配線内に局所的に分布させておき、電流ストレスによる観察用元素分布の変化を電子線あるいはＸ線を用いて顕微鏡観察することにより、配線金属の拡散経路を推定する。 - 特許庁
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