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To provide a plasma surface treatment method and a plasma surface treatment apparatus with improved power efficiency that have the equivalent surface treatment effect as a conventional method and reduce the generation of strong X rays due to secondary electrons that are discharged from an object to be treated.例文帳に追加
従来法と同等の表面処理効果を有し、被処理物から放出される２次電子による強いＸ線の発生の軽減と電力効率の良いプラズマ表面処理法及び装置を提供する。 - 特許庁
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