excited Arとは 意味・読み方・使い方

Thereby, since a phosphor can be excited combining with vacuum ultraviolet radiation of argon Ar, light can be stably emitted with good light emitting efficiency even if not using mercury.例文帳に追加

これにより、アルゴンＡｒの真空紫外放射と合わせて、蛍光体を励起することができるので、水銀を用いなくても発光効率が良好で、安定した発光を行える。 - 特許庁

Next, a high-frequency electric field is applied from a high-frequency power supply 1300a to the vapor deposition mask 1302a, the gas (Ar, H, F, NF3 or O) is excited, and a plasma 1301 is generated.例文帳に追加

次いで、高周波電源１３００ａから蒸着マスク１３０２ａに高周波電界を印加してガス（Ａｒ、Ｈ、Ｆ、ＮＦ3、またはＯ）を励起してプラズマ１３０１を発生させる。 - 特許庁

Thereafter, a gas having no relation with processes nor etching is introduced into the chamber 4 by using an inert gas of N2, Ar, He, etc., excited by means of a power source 9 for excitation installed to a gas introducing pipeline 8.例文帳に追加

その後、ガス導入配管８に設置された励起用電源９により励起されたＮ_２、Ａｒ、Ｈｅなどの不活性ガスでプロセスおよびエッチングに関係のないガスをプロセスチャンバ４内に導入する。 - 特許庁