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A beam current is measured at a turnaround point apart from the substrate and a current value is used to control a subsequent fast scan speed so as to compensate for the effect of a variation in beam current on dose uniformity in the slow scan direction.例文帳に追加
基板から離れた転換ポイントでビーム電流を測定し、その電流値を使用して、低速走査方向におけるドーズ均一性に対するビーム電流の変動の影響を補償するように、その後の高速走査速度を制御する。 - 特許庁
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