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該当件数 : 2件
To detect a low and flat LAD (large area defect) through discrimination from particles in the surface test of a semiconductor wafer.例文帳に追加
半導体ウェハの表面検査において、高さが低くフラットなLAD（広域欠陥）をパーティクルから区別して検出する。 - 特許庁
The LAD 16 has a scintillator layer 32 where the flat surface of a scintillator is parallel to the X-ray beam, and a two-dimensional array 34 of optical transduction elements.例文帳に追加
シンチレータの平面が前記Ｘ線ビームと平行であるようなシンチレータ層３２と、光変換要素の２次元アレイ３４とを具備している。 - 特許庁
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