fluorocarbon plasmaとは 意味・読み方・使い方

The fluorocarbon gas 7 supplied into the discharge tube is decomposed by the heat plasma 15 and made non-toxic.例文帳に追加

放電管４内に供給されたフロンガス７は、熱プラズマ１５により分解して無害化される。 - 特許庁

When the prescribed quantity of the fluorocarbon is supplied to the torch 1 to hydrolyze the fluorocarbon by the thermal plasma, a large quantity of a strong acid such as hydrochloric acid or hydrofluoric acid is generated in a reaction furnace.例文帳に追加

トーチ１内にフロンを所定量供給し、熱プラズマによりフロンを加水分解すると、塩酸やふっ酸等の強酸が反応炉８内に大量に発生する。 - 特許庁

The method of manufacturing the semiconductor device is provided in which nitriding plasma treatment or CF plasma treatment is applied to the surface of the fluorocarbon film subjected to etching treatment.例文帳に追加

エッチング処理の施されたフルオロカーボン膜の表面に対し、窒化プラズマ処理またはＣＦプラズマ処理を行う、半導体装置の製造方法が提供される。 - 特許庁

USE OF HYPOFLUORITE, FLUOROPEROXIDE, AND/OR FLUOROTRIOXIDE AS OXIDIZING AGENT IN FLUOROCARBON ETCHING PLASMA例文帳に追加

フルオロカーボンエッチングプラズマ中における次亜フッ素酸塩、フルオロペルオキシド及び（又は）フルオロトリオキシドの酸化剤としての使用 - 特許庁

An interlayer insulation film is selectively etched by plasma of a gas containing a fluorocarbon gas to form a through-hole.例文帳に追加

層間絶縁膜を、フルオロカーボンガスを含むガスのプラズマにより選択的にエッチングして貫通孔を形成する。 - 特許庁

A contact hole penetrating the third insulation film is formed by plasma etching with a fluorocarbon based gas.例文帳に追加

次に、前記第３の絶縁膜を貫通するコンタクト孔をフロロカーボン系のガスを用いたプラズマエッチングで形成する。 - 特許庁

The water-repellent glass is obtained by introducing a diluted gas of a fluorocarbon into the surface of the glass substrate, retaining the surface of the glass substrate in a plasma state and forming the plasma polymerization film of the fluorocarbon on the surface.例文帳に追加

このような撥水性ガラスは、ガラス基材の表面にフルオロカーボンの希薄ガスを導入すると共に、ガラス基材の表面をプラズマ状態に保持し、同表面にフルオロカーボンのプラズマ重合膜を形成することにより得られる。 - 特許庁

A plasma reinforced chemical vapor deposition process is applied to deposit a thin fluorocarbon layer on a surface of the substrate.例文帳に追加

プラズマ増強化学蒸着プロセスを適用することにより、薄いフルオロカーボン層を基板の表面上に堆積させる。 - 特許庁