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gateopeningとは 意味・読み方・使い方
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The Ti/Au film 36 and the Au layer 38 on an SiN film 32 is etched back over its entirety by means of ion milling process, and a gate electrode 40 is formed as shown in Fig. (f) only on the gateopening 34 except for the metal layers 36, 38.例文帳に追加
続いて、ＳｉＮ膜３２上のＴｉ／Ａｕ積層膜３６及びＡｕ層３８をイオンミリング法で全面エッチバッグし、図２（ｆ）に示すように、ゲート開口３４のみに金属層３６／３８を残してゲート電極４０を形成する。 - 特許庁
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