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A gridless Hall-Current ion source which features a fluid-cooled anode with a shadowed gap through which ion source feed gases are introduced while depositing feed gases are injected into the plasma beam is provided.例文帳に追加
堆積する給送ガスがプラズマビームに注入される間、イオンソース給送ガスが導入される、陰となったギャップを有する、液冷のアノードと特徴とする、グリッドのないホール電流イオンソースが提供される。 - 特許庁
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