hot filament chemical vapor depositionとは 意味・読み方・使い方

To perform diamond coating controlled in film quality to a relatively thin film on a rugged surface of an industrial cutting tool by a hot filament CVD (Chemical Vapor Deposition) process.例文帳に追加

熱フィラメントＤＶＤ法より工業用刃物に凹凸面の比較的薄膜に膜質制御されたダイヤモンドコーティングを行うこと。 - 特許庁

Then carbon nanotubes are grown by a hot filament chemical vapor deposition method or microwave plasma vapor phase deposition method by applying a negative voltage on the substrate.例文帳に追加

そして熱フィラメント化学気相堆積法やマイクロ波プラズマ気相堆積法を用い、基板を負電圧として、カーボン・ナノチューブを成長させる。 - 特許庁